1、MEMS器件：光学MEMS；射频MEMS；MEMS物理传感器 (加速传感器、速率传感器、压力传感器、气体传感器、温度传感器)；微射流（微流引导、微感应器等）；MEMS执行器；MEMS电能（燃料电池、微发电机等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS、LSI/MEMS 一体化)。

2、MEMS代工服务：仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀等。

3、MEMS应用：超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集等。

4、MEMS加工设备：薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (注射、热压)；其他生产设备。

5、分析与检测仪器：光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统等。

6、纳米机械微制程技术：超精度纳米机械工艺；超精密加工、微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等。

7、纳米压印技术：微纳米模型；纳米压印生产设等备。

8、生物技术与医疗应用：MEMS在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA&RNA 技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS（DNA/RNA技术、化学检测）等。